在高端制造与精密加工领域,花岗石气浮运动平台正凭借其卓越性能,成为众多前沿技术的核心支撑。以下为您深度剖析其无可比拟的优势: 高精度定位:花岗石气浮运动平台搭载 1nm 分辨率编码器,重复定位精度可达 ±0.1um,定位精度达 ±0.3um 。在半导体芯片制造环节,该精度确保了芯片上电路图案的精准刻画,使芯片性能更优、集成度更高。在精密光学元件加工中,能实现对镜片曲面的高精度打磨,让光学元件的成像质量达到顶尖水准。 近乎零摩擦运行:以空气作为润滑介质,运动部件间无机械接触与摩擦 。这极大减少了运动过程中的能量损耗,延长了平台的使用寿命。
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